| 1. Identificação | |
| Tipo de Referência | Artigo em Revista Científica (Journal Article) |
| Site | mtc-m16b.sid.inpe.br |
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identificador | 6qtX3pFwXQZGivnK2Y/QATxz |
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m17@80/2007/06.29.18.47 (acesso restrito) |
| Última Atualização | 2007:06.29.18.47.45 (UTC) administrator |
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m17@80/2007/06.29.18.47.46 |
| Última Atualização dos Metadados | 2018:06.05.03.34.34 (UTC) administrator |
| Chave Secundária | INPE--PRE/ |
| ISSN | 0257-8972 |
| Chave de Citação | KostovBarrUeda:2007:EfTaBi |
| Título | Effect of target bias on magnetic field enhanced plasma immersion ion implantation  |
| Ano | 2007 |
| Data de Acesso | 21 maio 2024 |
| Tipo Secundário | PRE PI |
| Número de Arquivos | 1 |
| Tamanho | 787 KiB |
| 2. Contextualização | |
| Autor | 1 Kostov, K. G. 2 Barroso, Joaquim José de 3 Ueda, Mário |
| Grupo | 1 2 LAP-INPE-MCT-BR 3 LAP-INPE-MCT-BR |
| Afiliação | 1 Faculdade de Engenharia de Guaratinguetá. Universidade Estadual Paulista. (UNESP.FEG) 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) |
| Revista | Surface and Coatings Technology |
| Volume | In press |
| Histórico (UTC) | 2007-12-19 16:39:26 :: simone -> administrator :: 2012-10-23 23:55:58 :: administrator -> simone :: 2007 2013-02-20 15:20:00 :: simone -> administrator :: 2007 2018-06-05 03:34:34 :: administrator -> marciana :: 2007 |
| 3. Conteúdo e estrutura | |
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz |
| Estágio do Conteúdo | concluido |
| Transferível | 1 |
| Tipo do Conteúdo | External Contribution |
| Palavras-Chave | PIII Computer simulation Magnetic field Sheath |
| Resumo | Recent studies have demonstrated that sheath dynamics in plasma immersion ion implantation (PIII) is significantly affected by an external magnetic field, especially in the case when the magnetic field is parallel to the workpiece surface or intersects it at small angles. In this work we report the results from two-dimensional, particle-in-cell (PIC) computer simulations of magnetic field enhanced plasma immersion implantation system at different bias voltages. The simulations begin with initial low-density nitrogen plasma, which extends with uniform density through a grounded cylindrical chamber. Negative bias voltage is applied to a cylindrical target located on the axis of the vacuum chamber. An axial magnetic field is created by a solenoid installed inside the target holder. A set of simulations at a fixed magnetic field of 0.0025 T at the target surface is performed. Secondary electron emission from the target subjected to ion bombardment is also included. It is found that the plasma density around the cylindrical target increases because of intense background gas ionization by the electrons drifting in the crossed E × B fields. Suppression of the sheath expansion and increase of the implantation current density in front of the high-density plasma region are observed. The effect of target bias on the sheath dynamics and implantation current of the magnetic field enhanced PIII is discussed. |
| Área | FISPLASMA |
| Arranjo | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Effect of target... |
| Conteúdo da Pasta doc | acessar |
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos |
| Conteúdo da Pasta agreement | não têm arquivos |
| 4. Condições de acesso e uso | |
| Idioma | en |
| Arquivo Alvo | effect of target.pdf |
| Grupo de Usuários | administrator simone |
| Visibilidade | shown |
| Política de Arquivamento | denypublisher denyfinaldraft24 |
| Permissão de Leitura | deny from all and allow from 150.163 |
| 5. Fontes relacionadas | |
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS |
| Divulgação | WEBSCI; PORTALCAPES. |
| Acervo Hospedeiro | lcp.inpe.br/ignes/2004/02.12.18.39 cptec.inpe.br/walmeida/2003/04.25.17.12 |
| 6. Notas | |
| Campos Vazios | alternatejournal archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel documentstage doi e-mailaddress electronicmailaddress format isbn label lineage mark mirrorrepository month nextedition notes number orcid pages parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project readergroup resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype typeofwork url versiontype |
| 7. Controle da descrição | |
| e-Mail (login) | marciana |
| atualizar | |